JSM-7610FPlus，用于纳米科学的肖特基场发射扫描电子显微镜， 是一款采用半浸没式物镜、拥有超高分辨率的场发射扫描电子显微镜，能观察微细结构和进行微区元素分析。
技术指标：
特点
半浸没式物镜
超高空间分辨率（1 kV 1.0 nm、15 kV 0.8 nm）
利用新一代r-过滤器选择能量
自由选择二次电子和背散射电子
利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像
选择通道衬度和来自样品表面的信息
浸没式肖特基电子枪
提供分析时需要的大电流(200 nA 15 kV),寿命长(发射体保证3 年)
丰富的附件
可以安装EDS、WDS、STEM、CL 等多种附件
半浸没式物镜的示意图
半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。
超高分辨率观察实例
柔和电子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式
柔和电子束模式（GB 模式）通过给样品施加负电压，从而使电子束在即将撞击样品之前降低着陆电压，因此可以在低加速电压下（ 100 V）进行高分辨观察。
由于电子束在样品中散射区域减小，就会容易地观察样品浅表面的精细结构，能减少对热敏样品的损伤，可以直接观察非导电性样品。
JSM-7610FPlus 在 GB 模式下（1 kV）的分辨率为 1.0 nm。
GB 模式的效果
GB 模式在低电压下提高分辨率
增强了的低加速电压下的分辨率
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