碳化硅烧结炉
碳化硅烧结炉的特点:
- 采用电磁感应加热,热效率高,发热体使用寿命长。常规的石墨棒电阻加热炉,因为电极绝缘材料使用温度达到极限,使用寿命很短,有些烧几炉就需要更换。石墨棒也应为温度过高的原因,烧损很快,同时容易出现接触不好,打火或接触电阻过大而烧坏的现象。
- *稳定的2300℃超高温工作温度,可兼容满足各种粒度的碳化硅粉、碳化硅密封陶瓷烧结、无压碳化硅烧结、碳化钛、碳化钒、等金属粉末及复合金属粉末。
- 炉体密封性好,全密封结构,带真空抽气系统和保护气体循环系统,即可高真空工作,又可在保护气体下工作,可满足不同产品和工艺的要求;
- 红外特殊的冷却过滤系统,有效的保护真空系统;
- 带快冷结构,生产周期短。炉内保温层带有内开门系统,外置冷却气体循环系统,冷炉时间缩短一半以上;
- 采用特殊的红外测温技术,PID分段程序控制升温曲线。控温精确,误差小。
- 采用红亚自主开发的烧结炉控制软件,集成到人机界面的开关机操作,报警显示和记录,温度曲线的编程、显示、记录和数据的导出,美观,方便又实用;
碳化硅烧结炉的技术参数
参数 型号 | HYSW-4040120 | HYSW-5050160 | HYSW-6060160 | HYSL-7070400 |
工作区尺寸DXH(mm) | 400X400X1200 | 500X500X1600 | 600X600X1600 | 700X700X4000 |
工作温度(℃) | 2800 | 2800 | 2800 | 2800 |
温度均匀性(℃) | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
工作电压(V) | 三相380 | |||
额定功率(KW) | 160 | 200 | 250 | 400 |
极限真空度(pa) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
以上碳化硅烧结炉技术参数可根据工艺参数进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。 |
碳化硅烧结炉的配置
- 炉门:铰链回转式/台车平移式;手动锁紧/自动锁圈锁紧
- 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
- 炉胆:硬质复合毡/CFC
- 加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
- 工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
- 真空泵和真空计---进口/国产
- 控温仪表:日本岛电/英国欧/宇电
- 红外测温仪:进口/国产
- 记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
- 人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机
- 电器元件:正泰/施耐德/西门子
- 料车:滚道式/叉车式
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