化学气相沉积石墨化一体炉
化学气相沉积石墨化一体炉特点:
采用多功能高温设计,可实现化学气相沉积和石墨化处理一次性完成。
使用温度高达2600,并可长时间稳定可靠运行。
采用热电偶和红外测温仪组合的测温自动转换系统,可实现全温度段的显示和控制。
采用IGBT为主功率器件的感应加热变频控制系统,使得设备节能省电,谐波分量小,对外部设备无干扰。
进出气体的精确流量显示和控制,保证了产品的稳定性。
采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
特制的过滤系统,对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理;
技术参数:
参数 型号 | HYSJL-3040 | HYSJL-4050 | HYSJL-5060 | HYSJL-6080 | HYSJL-8080 | ||||||||||
工作区尺寸DXH(mm) | Ф300X 400 | Ф400X 500 | Ф500X 600 | Ф600X 800 | Ф800X 800 | ||||||||||
工作温度(℃) | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | |||||
温度均匀性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ||||||||||
工作电压(V) | 三相380 | ||||||||||||||
额定功率(KW) | 40 | 80 | 60 | 150 | 80 | 160 | 90 | 200 | 160 | 350 | |||||
工作气氛 | 真空/氩气/氮气/氢气/炳烷/石油天然气 | ||||||||||||||
以上化学气相沉积炉技术参数可根据工艺参数进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。可将化学气相沉积和高温石墨化两种功能分开,单独做成化学气相沉积炉和高温石墨化炉。 |
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