“ZCS-QPM250高精度气静压三轴气浮数控平面磨床" ，采用气静压砂轮电主轴，X/Y二轴高精度气浮导轨。台达PLC、台达伺服电机和驱动器组成伺服驱动系统。使整机达到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具体参数如下：

一、技术特点：

  该磨床采用气静压砂轮电主轴、X/Y二轴高精度气浮导轨，三级高精度过滤器组成高精密气静压平面磨床的加工轴系。使整机达到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。

  工作台的左右、前后运动机构采用伺服电机驱动控制系统，具备缓冲换向功能。磨头上下进给采用高精度滚珠丝杠加台达128万线高精度伺服电机驱动系统升降，具有快进、慢进、微进给，自动、手动功能，操作方便、灵活可靠、无振动、精度稳定、热稳定性好、噪声低、维护保养方便等特点。

  X/Y二轴采用高精度气静压(气浮)导轨，具有高承载、高精度，高平稳性，无摩擦，不磨损等性能。

  气静压砂轮电主轴采用台达系列变频控制器实现无级调速。

  该磨床在气路、水路进口处加有压力传感器，具有过流、过载、气压低于下限、以及冷却水断流等故障报警保护功能。并且具有和上位机通讯功能（RS-485）。

二、整机主要技术参数表