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行程（mm)

负载(Kg）

分辨率（um)

最小运

动增量(um)

单向重

复定位精度

(um)

双向重复

定位精度

(um)

定位精度

(um)

**速度

（mm/s)

外形尺寸
(mm)

台面尺寸

（mm)

直线电机

升降台

FMSZ125C-50

50

5

0.1

0.3

±0.5

±1

±2

100

110x155x248

125x125

直线电机

升降台

FMSZ140C-100

100

5

0.1

0.3

±0.5

±1

±2

100

110x170X336

125x125

直线电机

升降台

FMSZ65C-08

8

0.6

0.05

0.1

±0.05

±0.1

/

/

65x65x52

65x65

压电电机

升降台

FMSZ115P-50

50

2

0.1

0.2

±0.5

±1

±2

5

115x115x110

115x115

压电电机

升降台

FMSZ85VP-20

20

1

0.1

0.2

±0.5

±1

±2

5

85x85x85

85x85

步进升降台

FMSZ145

-120

120

5

0.625

2

±1

±2.5

±10

5

145x145x236

145x145

步进升降台

FMSZ85R-20

20

1

0.625

2

±1

±2.5

±10

10

85x85x85

85x85

步进升降台

FMSZ115R-50

50

10

0.5

1

±2.5

±5

±10

10

115x115x130

115x115

伺服升降台

FMSZ170S-100

100

20

0.5

1

±1

±2

±10

100

529x170x85.5

170x170

伺服升降台

FMSZ170S-200

200

20

0.5

1

±1.5

±3

±12

100

629x170x85.5

170x170

伺服升降台

FMSZ170S-300

300

20

0.5

1

±2

±4

±15

100

729x170x85.5

170x170