晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机 EV-KM-14
晶圆制造领域-KBM14电机（6 / 8英寸）
技术特点：
1、中空轴设计
2、外壳水冷设计
3、机械精度：输出轴跳动≤3微米
4、高转速：转速9500RPM
5、空载加速度60000RPM/s
产品优势：
1、和负载直接连接，消除了减速机、同步带和滑轮
2、零背隙提供了更好的系统性能
3、消除了机器连接设备，降低了机器的整体尺寸
4、内置式电机使机器更为紧凑，有助于保护您的知识产权
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晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机EV-KM-14晶圆制造领域-KBM14电机（6/8英寸）技术特点：1、中空轴设计2、外壳水冷设计3、机械精度：输出轴跳动≤3微米4、高转速：转速9500RPM5、空载加速度60000RPM/s产品优势：1、和负载直接连接
晶圆涂胶（清洗）专用封装力矩电机 EV-KM-14
晶圆制造领域-KBM14电机（6 / 8英寸）
技术特点：
1、中空轴设计
2、外壳水冷设计
3、机械精度：输出轴跳动≤3微米
4、高转速：转速9500RPM
5、空载加速度60000RPM/s
产品优势：
1、和负载直接连接，消除了减速机、同步带和滑轮
2、零背隙提供了更好的系统性能
3、消除了机器连接设备，降低了机器的整体尺寸
4、内置式电机使机器更为紧凑，有助于保护您的知识产权
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