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激光加工过程中伴随产生的等离子体可在一定条件下控制用于石英的微钻孔,从而在块状石英中产生微型通道.但是处于极度高能状态下的激光诱导等离子体因其产生持续消失的过程短暂而复杂,使得等离子体的控制挑战性激光与靶物质相互作用过程中,当靶吸收的激光能量达到靶材料被离子化的域值时,在靶表面部分产生等离子体.等离子体的密度、温度、波前锋速度、环境压强、气体种类、光谱特性等已经引起研究者的注意。这些等离子体参数可以通过各种诊断方法获得。
等离子体有多方面的应用,等离子体各项参数的变化与等离子体的动态变化是紧密相关的。在激光诱导等离子体法在石英基片上加工微通道过程中,由于激光与石英相互作用在石英被加工点表面形成等离子体处于*能量的等离子体刻蚀石英材料形成坑孔,通过控制焦距可使等离子体的刻蚀过程不断继续深入而使坑孔形成微通道.
为了在激光微加工过程中了解掌握等离子态的物理特性,更好地控制等离子体使之用于微通道的加工工具,利用千眼狼高速摄像机对激光加工过程中伴随产生的等离子体在室温大气压下的动态过程进行监测研究.对等离子体持续过程及其随时间的变化进行实验分析,提出等离子体在通道内突然消失的可能机制,并为进一步控制等离子体的形成提供了实验基础。