主要特点：
◆能在可变压力下操作
◆*X射线和EBSD分析
◆可移动大平台
◆快抽真空
◆可升级在高压和水蒸气下成像和分析
◆高亮度LaB6资源选择
◆光线套选择
技术参数：
| 分辨率： | 3.0nm@ 30KV(SE and W) | 4.0nm@ 30KV(VP with BSD) |
| 加速电压 | 0.2—30KV | |
| 放大倍数 | 5—1000000x | |
| 探针电流 | 0.5PA-5μA | |
| X-射线分析工作距离 | 8.5mm 35度接收角 | |
| 低真空压力范围 | 10—400Pa (LS15:环扫模式10-3000Pa) | |
| 工作室 | 365mm(φ)×275mm(h) | |
| 5轴优中心自动样品台 | X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360° | |
| 较大试样高度 | 145mm | |
| 大试样直径 | 250mm | |
| 系统控制 | 基于Windows 7 的SmartSEM操作系统 | |
| 存储分辨率 | 32,000 x 24,000 pixels | |
产品应用：
◆扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
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