国内首台基于DPSS激光器的OLED剥离设备研发成功

2025-05-03 07:38:06来源：江苏亚威机床股份有限公司阅读量：0

导读：

　　激光剥离(Laser-Lift-Off)作为柔性OLED制程的核心工艺之一，长期被韩国设备供应商所垄断。亚威艾欧斯通过引进技术再创新，与德国通快公司密切合作，大幅缩短了研发进程，在关键指标和工艺性能方面均达到进口设备水平。

　　我司DPSS-LLO激光剥离设备的研制成功，标志着先进激光技术的应用在国产化进程中取得了重要突破。

【DPSS激光剥离设备】

　　DPSS激光剥离是指通过固体纳秒紫外激光辐照，实现有机发光显示器件(PI膜)与搭载的玻璃基板分离，与传统的准分子脉冲激光剥离相比，具有能量输入稳定、生产效率高、不需要定期更换工作气体等优势。

　　据媒体报道Samsung Display其A3线主要采用了DPSS LLO设备，因DPSS技术较准分子激光器使用和维护成本低，并可以减少设备采购总数量。

【激光剥离工艺示意图】

　　亚威艾欧斯激光剥离设备搭载的DPSS激光光学系统，能量利用率达85%以上。中德韩联合研发的“Z”型折叠光路，将整个线光斑光学系统长度缩短30%。该系统整形后的线光斑长度400-750mm(可调节)、宽度30μm，可同时应对黄色和透明PI两种产品的激光剥离工艺，且工艺品质及加工效率有大幅度提升。

【光路示意图】

【线光斑】

【激光剥离柔性显示屏样品】

　　亚威艾欧斯激光剥离设备，已对国内数家显示面板厂商提供的样品进行了测试，效果良好，达到客户技术要求。

　　随着显示面板企业对使用成本和效率要求的不断提高，导入DPSS激光剥离工艺是大势所趋，亚威艾欧斯将继续努力并与客户密切协同，加快实现量产交付，为柔性OLED制程关键设备的进口替代做出贡献。

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