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14次R-系列V RH5美国MTS位移传感器测量技术
MTS传感器部[]提供的值线性位移传感器采用的Temposonics李磁致伸缩技术,实现高水平的稳定地测量位移。每个Temposonics 位移传感器由铁磁波导管、位置磁铁、应变脉冲转换器和辅助电子元件组成。磁铁连接移动部件,在所处波导管上产生一个磁场。波导管接通短电流脉冲,产生一个瞬时径向磁场和波导管扭转形变。磁场间的瞬时相互作用会引发一个扭转应变脉冲,在波导管中传播。当超声波(扭转应变脉冲)到达波导管末端时被转换为电信号。由于能够测量波导管内的超声波速度,接收返回信号所需的时间能够转换为- -个高精度、可重复的线性位移测量值。
R-系列V RH5美国MTS位移传感器信号处理
辨向原理
在实际应用中,位移具有两个方向,即选定一个方向后,位移有正负之分,因此用一个 光电元件测定莫尔条纹信号确定不了位移方向。为了辨向,需要有 π/2相位差的两个莫尔条纹信号。如图2,在相距1/4条纹间距的位置上安放两个光电元件,得到两个相位差π/2的电信号u01和u02,经过整形后得到两个方波信号u01’和u02’。光栅正向移动时u01超前u02 90度,反向移动时u02超前u01 90度,故通过电路辨相可确定光栅运动方向。
细分技术
随着对测量精度要求的提高,以栅距为单位已不能满足要求,需要采取适当的措施对莫尔条纹进行细分。所谓细分就是在莫尔条纹信号变化一个周期内,发出若干个脉冲,以减少脉冲当量。如一个周期内发出n个脉冲,则可使测量精度提高n备,而每个脉冲相当于原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高了 n倍,因此也称n倍频。
通常用的有两种细分方法:其一:直接细分。在相差1/4莫尔条纹间距的位置上安放两个光电元件,可得到两个相位差90o的电信号,用反相器反相后就得到四个依次相差90o的交流信号。同样,在两莫尔条纹间放置四个依次相距1/4条纹间距的光电元件,也可获得四个相位差90o的交流信号,实现四倍频细分。其二:电路细分。
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