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日本napson定制产品电阻参考晶片：NRW系列
2020-12-29 阅读(8)
 提 供 商 |
秋山科技（东莞）有限公司 |  资料大小 |
200.8KB |
|---|---|---|---|
 资料类型 |
JPG 图片 |  资料图片 |
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日本napson定制产品电阻参考晶片：NRW系列
产品特点
NRW系列是标准的硅晶片，已经通过电阻测量领xian公司Napson的严格测量标准进行了电阻评估/认证。它使用已被中子辐照的高度稳定的晶片。
Napson的4探针电阻测量设备通过电阻标准晶圆（NIST，VLSI）进行校准，并由以下SEMI标准，日本工业标准（JIS）和美国材料测试协会（ASTM）定义。符合标准。
<符合标准>
[SEMI标准]
SEMI-MF43-99，SEMI-MF374-02，SEMI-MF84-02，SEMI-MF1529-02
[美国测试与材料学会]
ASTM-F-84-99（SEMI-MF84），ASTM-F-374-00a，ASTM-F-390-11，ASTM-F-1529-97
[日本工业标准]
JIS-H-0602-1995
测量规格
<通用规格>
・材质：硅
・制造方法：FZ法
・表面处理：包裹
・晶体方向：（1-1-1）±1度
・掺杂：N型（磷）
・晶圆尺寸：Φ100mm（4英寸）
・晶圆厚度：*取决于电阻类型。请参考下表。
<晶圆阵容/规格>
类型 | 电阻 | 晶圆厚度 | 薄层电阻 |
NRW-1-28 | 28.00±2.00 | 559.00±25.00 | 约500 |
NRW-2-110 | 110.00±11.00 | 580.00±10.00 | 约2000 |
NRW-3-200 | 200.00±12.00 | 675.00±25.00 | 约3000 |
NRW-4-330 | 330.00±25.00 | 675.00±25.00 | 约5000 |
NRW-5-550 | 550.00±50.00 | 450.00±25.00 | 约12000 |
